表面粗さ計フォームタリサーフPGI1240程度良--2004年式粒子径測定システムELS-Z------Zygo ZeMapper 3D光学表面プロファイラ----2012年LA-950V2----2010年X線分析顕微鏡 XGT-5000WR----2005年汎用走査電子顕微鏡 SU-1510----2011年